東京, 2024年1月31日 - (亞太商訊) - 經營產業用貴金屬事業的田中貴金屬集團核心企業──田中貴金屬工業株式會社(總公司:東京都千代田區、執行總裁:田中浩一朗),宣佈建立了治具洗淨法「TANAKA Green Shield」。本洗淨法的特色是在半導體製程中使用的真空成膜裝置(※1)零件的襯板 (※2)上進行鍍鎳加工處理。經過鍍鎳加工的襯板能使鉑與鈀等的PGM(※3) 濺鍍膜易於剝離。
田中貴金屬工業推展再利用業務,將濺鍍裝置、真空蒸鍍裝置等以SUS(不銹鋼)製為主的真空成膜裝置零件上附著的濺鍍膜剝離,進行貴金屬的回收提煉,並將回收後的貴金屬和精密清洗過的零件歸還給客戶。
這項清淨法運用了田中貴金屬工業的獨特技術——底材鍍膜的專門知識。利用對襯板進行鍍鎳加工,可以在不損傷底材的情況下,以化學處理剝離PGM濺鍍膜。由於PGM濺鍍膜比傳統製程更容易剝離,可望能夠減少在清洗設備時使用的洗淨劑用量,有助於減經環境負荷。此外,預料還會減少研磨過程中因飛散引起的貴金屬回收損失,因此可以預期高的PGM回收率和降低成本。
對於「TANAKA Green Shield」,田中貴金屬工業設定的目標是在2025年之前整備能夠對應各式各樣的形狀與尺寸零件的體制,並將PGM膜的剝離回收量擴大到目前的6倍。
![「TANAKA Green Shield」治具洗淨工序](https://photos.acnnewswire.com/20240131.TanakaCT1.jpg)
關於治具洗淨方法
真空成膜裝置零件的治具洗淨方法有物理剝離(噴砂處理)、鋁熔射基底成膜等方法。物理剝離是透過噴塗研磨劑(洗淨劑)刮除附著膜的洗淨方法,由於成本低廉,目前成為治具洗淨方法的主流。這項方法缺點在於因使用研磨劑對基材表面造成損傷,導致基材的生命週期縮短,並且還發生因飛散導致貴金屬回收損失。另一方面,利用鋁熔射基底成膜的治具洗淨是預先以熔射法將鋁塗層到襯板,並透過用藥液溶解鋁來剝離附著膜的方法。這項方法缺點是鋁的非成膜面所形成的附著膜難以回收,且鋁的成膜費用非常昂貴。
「TANAKA Green Shield」在襯板上預先進行鍍鎳的基底加工。例如,在濺鍍加工(使用襯板)後,僅溶解襯板與PGM濺鍍膜之間的鎳鍍塗層,不僅可以剝離PGM濺鍍膜,還能夠在不損傷基材的情況下剝離各種成分的附著膜。這項基底加工其襯板和濺鍍膜具有高密合性,能夠防止因濺鍍膜剝落導致的濺鍍加工不良,還能夠在各種形狀的零件上進行電鍍加工。本洗淨法除了可以防止基材劣化外,還實現比鋁成膜的成本更低。此外,由於還能減少洗淨劑的用量,是兼具環保的下一代治具洗淨法。
![關於進行治具洗淨的濺鍍和蒸鍍製程](https://photos.acnnewswire.com/20240131.TanakaCT2.jpg)
田中貴金屬工業及循環經濟
田中貴金屬工業自1885年(明治18年)創業以來一直從事貴金屬再利用事業。除了透過多年的貴金屬研究開發累積的現有貴金屬再利用技術外,也在推動名為「TANAKA Green Shield」的貴金屬再利用的相關新技術開發。田中貴金屬工業提供的貴金屬再利用事業,對推動有限的貴金屬資源再利用及實現循環經濟做出貢獻。
(※1)真空成膜裝置:在濺鍍和蒸鍍等半導體製程中,在薄膜成型工序所使用的設備
(※2)襯板:為了防止膜附著於成膜裝置的腔體(用於引起物理和化學反應的密封反應容器)內壁上所安裝的板子
(※3)PGM:係指貴金屬中的鉑、鈀、銠、釕、銥、鋨等6種
關於田中貴金屬集團
田中貴金屬集團自1885年(明治18年)創業以來,營業範圍向來以貴金屬為中心,並以此展開廣泛 活動。在日本國內,以最高水準的貴金屬交易量為傲的田中貴金屬集團,長年以來除了進行產業用貴 金屬產品的製造和販售外,也供應貴金屬製作珠寶飾品和投資型貴金屬商品。本集團以貴金屬專業團隊之姿,旗下的國內外各集團公司協調合作,使製造、販售與技術一體化,並供應相關產品與服務。2022 年度(2023年3月止)的合併營業額為6,800億日圓,擁有5,355名員工。
產業事業全球網站
https://tanaka-preciousmetals.com/tw/
產品諮詢表
田中貴金屬工業株式會社
https://tanaka-preciousmetals.com/tw/inquiries-on-industrial-products/
新聞媒體諮詢處
田中控股株式會社
https://tanaka-preciousmetals.com/tw/inquiries-for-media/
新聞稿: http://www.acnnewswire.com/docs/files/20240131CT.pdf
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